Van grensvlak fysica naar nanolithografie

Prof. J.M.W. (Joost) Frenken besprak in zijn lezing geavanceerd onderzoek ten behoeve van nanolithografie. Mede dankzij zijn werk beleeft ASML hoogtijdagen. Trouwe leden hebben dat kunnen ervaren bij de excursie in 2009 naar ASML, toen wij hoorden over het onderzoek aan extreem UV lithografiemachines, die toen nog in ontwikkeling waren.
Prof. Frenken was eerder te gast bij Diligentia in 1999, toen demonstreerde hij de Scanning Tunneling Microscope, waarmee een oppervlak op moleculair niveau "afgebeeld" kan worden. Aan dat werk, dat aan de basis lag van zijn huidige onderzoek, refereerde hij in de nieuwe lezing. "Dat gevoelige instrument zou ik nu niet meer kunnen demonstreren" vertelde hij na afloop. Gelukkig hebben we nog wel het manuscript over de STM, alsook die van zijn nieuwe lezing. Daarvan is bovendien een video-opname beschikbaar. Kijk hiervoor in het lezingenarchief.